Chemical-dynamic polishing of semiconductor materials based on Bi and Sb chalcogenides by using HNO3-HCl solutions / Pavlovich I. I., Tomashik Z. F., Stratiychuk I. B., Tomashik V. M., Savchuk O. A., Kravtsova A. S. (2011)
UkrainianEnglish

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000349495
  Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics       А - 2019  /     Випуск (2011, Vol. 14, № 2)

Pavlovich I. I., Tomashik Z. F., Stratiychuk I. B., Tomashik V. M., Savchuk O. A., Kravtsova A. S.
Chemical-dynamic polishing of semiconductor materials based on Bi and Sb chalcogenides by using HNO3-HCl solutions

Cite:
Pavlovich, I. I., Tomashik, Z. F., Stratiychuk, I. B., Tomashik, V. M., Savchuk, O. A., Kravtsova, A. S. (2011). Chemical-dynamic polishing of semiconductor materials based on Bi and Sb chalcogenides by using HNO3-HCl solutions. Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics , 14 (2), 200-202. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000349495

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна