Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / Соболь О. В., Андреев А. А., Григорьев С. Н., Волосова М. А., Столбовой В. А., Фильчиков В. Е., Киданова Н. В., Антоненкова Г. В., Черкасова Н. Ю. (2013)
Ukrainian

English  Metallophysics and advanced technologies   /     Issue (2013, 35 (7))

Sobol O. V., Andreev A. A., Grigorev S. N., Volosova M. A., Stolbovoj V. A., Filchikov V. E., Kidanova N. V., Antonenkova G. V., Cherkasova N. Ju.
The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings


Cite:
Sobol, O. V., Andreev, A. A., Grigorev, S. N., Volosova, M. A., Stolbovoj, V. A., Filchikov, V. E., Kidanova, N. V., Antonenkova, G. V., Cherkasova, N. Ju. (2013). The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings. Metallophysics and advanced technologies, 35 (7), 943-951. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000518623 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна