Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / Кирпенко К. В., Недоля А. В., Титов И. Н. (2014)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000526183
  Металлофизика и новейшие технологии     А - 2019  /     Випуск (2014, Т. 36, № 6)

Кирпенко К. В., Недоля А. В., Титов И. Н.
Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса

Бібліографічний опис:
Кирпенко К. В., Недоля А. В., Титов И. Н. Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса. Металлофизика и новейшие технологии. 2014. Т. 36, № 6. С. 735-743. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000526183

English  Metallophysics and advanced technologies   /     Issue (2014, 36 (6))

Kirpenko K. V., Nedolja A. V., Titov I. N.
Determination of Conditions for Transition-Metals' Deposition from Their Carbonyls by Means of the LCVD-Process Simulation

Cite:
Kirpenko, K. V., Nedolja, A. V., Titov, I. N. (2014). Determination of Conditions for Transition-Metals' Deposition from Their Carbonyls by Means of the LCVD-Process Simulation. Metallophysics and advanced technologies, 36 (6), 735-743. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000526183 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна