Model of smoothing roughness on GaAs wafer surface by using nonabrasive chemical-and-mechanical polishing / Fomin A. V., Pashchenko G. A., Kravetskyi M. Yu., Lutsyshyn I. G. (2017)
UkrainianEnglish

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна