Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода / Ковтун Ю. В., Скібенко Є. І., Скибенко А. І., Юферов В. Б. (2012)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000724890
  Український фізичний журнал      А - 2018  /     Випуск (2012, Т. 57, № 9)

Ковтун Ю. В., Скібенко Є. І., Скибенко А. І., Юферов В. Б.
Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода

Бібліографічний опис:
Ковтун Ю. В., Скібенко Є. І., Скибенко А. І., Юферов В. Б. Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода. Український фізичний журнал. 2012. Т. 57, № 9. С. 901-908. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000724890

English  Ukrainian Journal of Physics   /     Issue (2012, 57 (9))

Kovtun Yu. V., Skibenko Ye. I., Skybenko A. I., Yuferov V. B.
Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material

Cite:
Kovtun, Yu. V., Skibenko, Ye. I., Skybenko, A. I., Yuferov, V. B. (2012). Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material. Ukrainian Journal of Physics, 57 (9), 901-908. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000724890 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна