Електрофізичні характеристики приповерхневих шарів кристалів Si p-типу, з напиленими плівками Al, підданих пружній деформації / Павлик Б. В., Кушлик М. О., Дідик Р. І., Шикоряк Й. А., Слободзян Д. П., Кулик Б. Я. (2013)
Ukrainian

English  Ukrainian Journal of Physics   /     Issue (2013, 58 (8))

Pavlyk B. V., Kushlyk M. O., Didyk R. I., Shykoriak Y. A., Slobodzian D. P., Kulyk B. Ya.
Electrophysical characteristics of near-surface layers in p-Si crystals with sputtered Al films and subjected to elastic deformation


Cite:
Pavlyk, B. V., Kushlyk, M. O., Didyk, R. I., Shykoriak, Y. A., Slobodzian, D. P., Kulyk, B. Ya. (2013). Electrophysical characteristics of near-surface layers in p-Si crystals with sputtered Al films and subjected to elastic deformation. Ukrainian Journal of Physics, 58 (8), 743-748. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000725574 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна