Вплив тиску аргону в камері осадження на властивості легованих алюмінієм плівок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленні / Попович В. І., Євтушенко А. І., Литвин О. С., Романюк В. Р., Ткач В. М., Батурин В. А., Карпенко О. Є., Дранчук М. В., Клочков Л. О., Душейко М. Г., Карпина В. А., Лашкарьов Г. В. (2016)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000732262
Український фізичний журнал   А - 2018 /  Випуск (2016, Т. 61, № 4)
Попович В. І., Євтушенко А. І., Литвин О. С., Романюк В. Р., Ткач В. М., Батурин В. А., Карпенко О. Є., Дранчук М. В., Клочков Л. О., Душейко М. Г., Карпина В. А., Лашкарьов Г. В.
Вплив тиску аргону в камері осадження на властивості легованих алюмінієм плівок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленні
Бібліографічний опис:
Попович В. І., Євтушенко А. І., Литвин О. С., Романюк В. Р., Ткач В. М., Батурин В. А., Карпенко О. Є., Дранчук М. В., Клочков Л. О., Душейко М. Г., Карпина В. А., Лашкарьов Г. В. Вплив тиску аргону в камері осадження на властивості легованих алюмінієм плівок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленні. Український фізичний журнал. 2016. Т. 61, № 4. С. 334-339. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000732262 |  Ukrainian Journal of Physics / Issue (2016, 61 (4))
Popovych V. I., Yevtushenko A. I., Lytvyn O. S., Romaniuk V. R., Tkach V. M., Baturyn V. A., Karpenko O. Ye., Dranchuk M. V., Klochkov L. O., Dusheiko M. H., Karpyna V. A., Lashkarov H. V.
Effect of argon deposition pressure on the properties of aluminum-doped ZnO films deposited layer-by-layer using magnetron sputtering
Cite:
Popovych, V. I., Yevtushenko, A. I., Lytvyn, O. S., Romaniuk, V. R., Tkach, V. M., Baturyn, V. A., Karpenko, O. Ye., Dranchuk, M. V., Klochkov, L. O., Dusheiko, M. H., Karpyna, V. A., Lashkarov, H. V. (2016). Effect of argon deposition pressure on the properties of aluminum-doped ZnO films deposited layer-by-layer using magnetron sputtering. Ukrainian Journal of Physics, 61 (4), 334-339. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000732262 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF