Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al2O3 / Семенов A. В., Лопин A. В., Борискин В. Н. (2017)
Ukrainian

English  Technology and design in electronic equipment   /     Issue (2017, 3)

Semenov A. V., Lopin A. V., Boriskin V. N.
Effect of electron irradiation on the optical properties of nanocrystalline SiC films on single crystal Al2O3 substrates


Cite:
Semenov, A. V., Lopin, A. V., Boriskin, V. N. (2017). Effect of electron irradiation on the optical properties of nanocrystalline SiC films on single crystal Al2O3 substrates. Technology and design in electronic equipment, 3, 40-48. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000742906 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна