Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления / Лисовский В. А. (2006)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855345
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2006, Т. 4, № 3-4)

Лисовский В. А.
Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

Бібліографічний опис:
Лисовский В. А.  Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления. Фізична інженерія поверхні. 2006. Т. 4, № 3-4. С. 143-168. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855345

English  Physical surface engineering   /     Issue (2006, 4 (3-4))

Lisovskij V. A.
Dissociative mode in low-pressure RF discharge

Cite:
Lisovskij, V. A. (2006). Dissociative mode in low-pressure RF discharge. Physical surface engineering, 4 (3-4), 143-168. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855345 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна