Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов / Деревянко А. В., Стервоедов А. Н., Силкин М. Ю. (2008)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000867772
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2008, Т. 6, № 1-2)

Деревянко А. В., Стервоедов А. Н., Силкин М. Ю.
Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов

Бібліографічний опис:
Деревянко А. В., Стервоедов А. Н., Силкин М. Ю. Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов. Фізична інженерія поверхні. 2008. Т. 6, № 1-2. С. 114-120. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000867772

English  Physical surface engineering   /     Issue (2008, 6 (1-2))

Derevjanko A. V., Stervoedov A. N., Silkin M. Ju.
Ion-beam deposition of ultrathin metall nitride and oxynitride films process stabilization

Cite:
Derevjanko, A. V., Stervoedov, A. N., Silkin, M. Ju. (2008). Ion-beam deposition of ultrathin metall nitride and oxynitride films process stabilization. Physical surface engineering, 6 (1-2), 114-120. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000867772 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна