СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники / Гордиенко Ю. Е., Пятайкина М. И., Полищук А. В. (2015)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059748
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2015, Т. 13, № 2)

Гордиенко Ю. Е., Пятайкина М. И., Полищук А. В.
СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники

Бібліографічний опис:
Гордиенко Ю. Е., Пятайкина М. И., Полищук А. В. СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники. Фізична інженерія поверхні. 2015. Т. 13, № 2. С. 209-217. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059748

English  Physical surface engineering   /     Issue (2015, 13 (2))

Gordienko Ju. E., Pjatajkina M. I., Polishchuk A. V.
Microwave high-resolution scanning heating in the technology of micro- and nanoelectronics

Cite:
Gordienko, Ju. E., Pjatajkina, M. I., Polishchuk, A. V. (2015). Microwave high-resolution scanning heating in the technology of micro- and nanoelectronics. Physical surface engineering, 13 (2), 209-217. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059748 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна