Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / Зыков А. В., Дудин С. В., Яковин С. Д. (2015)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059755
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2015, Т. 13, № 2)

Зыков А. В., Дудин С. В., Яковин С. Д.
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

Бібліографічний опис:
Зыков А. В., Дудин С. В., Яковин С. Д. Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления. Фізична інженерія поверхні. 2015. Т. 13, № 2. С. 264-275. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059755

English  Physical surface engineering   /     Issue (2015, 13 (2))

Zykov A. V., Dudin S. V., Jakovin S. D.
Stationary regimes of low pressure magnetron discharge

Cite:
Zykov, A. V., Dudin, S. V., Jakovin, S. D. (2015). Stationary regimes of low pressure magnetron discharge. Physical surface engineering, 13 (2), 264-275. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059755 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна