To the 40th anniversary of the beginning of research in the field of plasma technologies in microelectronics at the Physics and Technology Faculty of the Kharkiv University (2015)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059756
  Physical surface engineering   /     Issue (2015, Т. 13, № 2)


К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета

Бібліографічний опис:
К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета. Фізична інженерія поверхні. 2015. Т. 13, № 2. С. 276-281. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059756

English  Physical surface engineering   /     Issue (2015, 13 (2))


To the 40th anniversary of the beginning of research in the field of plasma technologies in microelectronics at the Physics and Technology Faculty of the Kharkiv University

Cite:
(2015). To the 40th anniversary of the beginning of research in the field of plasma technologies in microelectronics at the Physics and Technology Faculty of the Kharkiv University. Physical surface engineering, 13 (2), 276-281. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059756 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209