К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета (2015)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059756
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2015, Т. 13, № 2)


К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета

Бібліографічний опис:
К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета. Фізична інженерія поверхні. 2015. Т. 13, № 2. С. 276-281. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059756

English  Physical surface engineering   /     Issue (2015, 13 (2))


To the 40th anniversary of the beginning of research in the field of plasma technologies in microelectronics at the Physics and Technology Faculty of the Kharkiv University

Cite:
(2015). To the 40th anniversary of the beginning of research in the field of plasma technologies in microelectronics at the Physics and Technology Faculty of the Kharkiv University. Physical surface engineering, 13 (2), 276-281. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059756 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна