Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / Васильев В. В., Лучанинов А. А., Решетняк Е. Н., Стрельницкий В. Е., Толмачева Г. Н., Прибытков Г. А., Гурских А. В., Криницын М. Г. (2015)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059741
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2015, Т. 13, № 2)
Васильев В. В., Лучанинов А. А., Решетняк Е. Н., Стрельницкий В. Е., Толмачева Г. Н., Прибытков Г. А., Гурских А. В., Криницын М. Г.
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
Бібліографічний опис:
Васильев В. В., Лучанинов А. А., Решетняк Е. Н., Стрельницкий В. Е., Толмачева Г. Н., Прибытков Г. А., Гурских А. В., Криницын М. Г. Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Фізична інженерія поверхні. 2015. Т. 13, № 2. С. 148-163. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059741 |  Physical surface engineering / Issue (2015, 13 (2))
Vasilev V. V., Luchaninov A. A., Reshetnjak E. N., Strelnitskij V. E., Tolmacheva G. N., Pribytkov G. A., Gurskikh A. V., Krinitsyn M. G.
The use of powder cathodes for the deposition of Ti-Si-N coatings from a filtered vacuum arc plasma
Cite:
Vasilev, V. V., Luchaninov, A. A., Reshetnjak, E. N., Strelnitskij, V. E., Tolmacheva, G. N., Pribytkov, G. A., Gurskikh, A. V., Krinitsyn, M. G. (2015). The use of powder cathodes for the deposition of Ti-Si-N coatings from a filtered vacuum arc plasma. Physical surface engineering, 13 (2), 148-163. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059741 [In Russian]. | |
|
|
PDF